半導体製造工場の製造工程では、ガス製膜?エッチング?クリーニング等の工程にて高純度な半導体材料ガスが数多く使用されています。半導体材料ガスには特殊ガス、毒性ガスなどの危険なガスも多く、通常ガスボンベはシリンダーキャビネット等に入った状態で管理され、常時監視されています。さらに、ガスボンベの交換時や定期点検の際には装置のバルブや配管の漏えい検知用としてポータブルタイプの吸引式ガス検知器が使用されています。

XPS-7II当社では2004年からポータブルタイプの「半導体材料ガス検知器 XPS-7」を販売し、半導体工場内の安全管理に努めてまいりました。このたびリニューアルした「半導体材料ガス検知器 XPS-7Ⅱ」は、従来の特長や機能はそのままに、新たに半導体製造で使用頻度の高い三フッ化窒素(NF3)の検知が可能となりました。NF3検知が可能なポータブルガス検知器としては世界最小サイズです。

特長
1.カセット式のセンサユニットを校正済でお届けするため、お客様ご自身でセンサユニットを交換するだけで校正が完了し、ガス検知器を預けての校正が不要。
2.カセット式のセンサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間、ランニングコストを大幅に削減。
3.大きな見やすいデジタルLCD表示で濃度を表示。ガスの濃度変化に応じてアラーム音のスピードが変化し、警報をお知らせ。
4.大きな見やすいデジタルLCD表示で濃度を表示。ガスの濃度変化に応じてアラーム音のスピードが変化し、警報をお知らせします。
5.乾電池?AC電源の両方で動作可能。AC電源によりメンテナンスなどの長時間連続監視時にも安定した電源供給が可能。
6.ロガー機能搭載。
7.コンパクトサイズで持ち運びしやすい小型?軽量設計。

◎商品の詳細情報はこちら>>半導体材料ガス検知器 XPS-7II

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